삼차원표면형상측정장비

단차 ・막두께를 비접촉으로 동시측정 !!
도레이 엔지니어링의 SP시리즈는 TCO, a-Si, Metal의 각 막두께를 비접촉으로 매우 정밀하게 동시측정 가능합니다.

광간섭법에 의한 비접촉 ・고정밀측정

Non-contact, high-accuracy measurement with white-light interferometry

Non-contact, high-accuracy measurement with white-light interferometry
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사용 예

관련제품 표면형상 측정장비 SP시리즈

SP-700A/500A

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연구개발에서부터 양산 용도까지!

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대형기판용. 샘플 절단 불필요!!

SP-700WA/500WA

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결정계의 전자동검사에!


SP시리즈 사양

사양
측정원리 광간섭법
수직주사법 (VSI법), 위상시프트법(PSI법)
수직주사 범위 th> 0~ MAX 400μm
수직주사 속도 MAX 214μm/sec 
높이 표시분해능 0.001μm/0.01nm (전환)
간섭대물렌즈 10×, 2.5×, 5×, 20×, 50×

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