TS코터 (TORAY Slit-nozzle Coater)

개요

도레이의 컬러 필터 양산 실적으로 쌓은 높은 신뢰성과 생산 노하우의 결정
도레이 엔지니어링은 유리 기판에 우수한 균일성으로 도포하고자 하는 액정업계의 요구에 부응하는 코터를 실현하였습니다.

특징

액정 디스플레이 제조공정에서 유리 기판에 레지스트 등의 도액을Slit-nozzle로 보다 균일하게 도포하는 장비로, 액정 제조라인의 포토리소 가공에서는 노광기와 함께 중요한 생산장비입니다.
유리 기판에 대한 도포 방식은 주로 유리 기판을 회전하는 스핀 코터와 그 진화형인 슬릿 노즐로 도포한 후, 스핀으로 평탄화하는 슬릿 앤드 스핀 코터가 사용되어 왔습니다. 한편, 도레이 그룹에서는 필름 제조 노즐의 기술을 살려 타사보다 앞서 슬릿 노즐만으로 소정의 막두께로 도포 가능한 비회전식 코터를 실용화하여 도레이 컬러 필터 제조에 오랜 기간 사용해 왔습니다.
최근 유리 기판의 대형화에 수반하여 스핀 코터로는 대응이 곤란하게되어, 액정 업계의 요구에 부응하는 새로운 대형 기판용 슬릿 노즐 코터를 개발하여 「TS Coater」로서 2003년에 판매를 개시하였습니다.

스테이지 이동 타입 코터

스테이지 이동 타입 코터 유리 사이즈는 주로 G5세대라고 불리는 1,100mm×1,300mm및 G5사이즈 이하에 대응
노즐부는 고정으로 유리 기판이 놓이는 스테이지가 좌우로 이동하는 모델


갠트리 이동 타입 코터

갠트리 이동 타입 코터 주로 G5세대 이상의 유리 기판용으로 납입하고 있습니다.
노즐부를 탑재한 갠트리가 이동하며, 스테이지는 고정입니다.


G8세대용 코터

G8세대용 코터 2,400mm×2,600mm의 유리 기판에 대응 가능한 코터를 개발


사양

대응 기판 사이즈 주로W1,100mm×L1,300mm~W2,400mmm×L2600mm
도포 재료 수지 BM, RGB, OC, PS, MVA, Posi 레지스트, 기타 PR
도포 정밀도 ±3% 이내
도포 방법 비회전식 슬릿 노즐에 의한 도포
Tact 타임(참고치) 40초~

본 사양은 개량을 위해 예고 없이 변경될 수 있습니다.

TS코터 (TORAY Slit-nozzle Coater)에 관한 문의는 이 양식을 이용하여 주십시오.


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