FPD 용 이물 검사장비 HS-830

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개요

이물 검사장비 “HS-830”은 업계 최초의 서브미크론감도 이물 검사장비 HS-730과 마찬가지로 당사의 독자적인 광학기술을 채용한 유리 기판 상의 이물 검사장비로, 기존 대비 약 1/4의 고속검사를 실현하고 있습니다.

특징

검출 원리

검출 원리

조작 화면

조작 화면

사양

형식 HS-830
검출방식 레이저 산란결상방식
검출 항목 유리, 크롬, ITO 기판 상의 이물질의 개수 ・위치 ・SML Class분류・이물질 검출 맵 ・히스토그램
대응 기판 사이즈&
실검사시간
(고속검사 모드 시:
1µm감도)
400mm × 520mm : 24sec
600mm × 720mm : 41sec
730mm × 920mm : 55sec
1100mm × 1300mm : 86sec
1600mm × 1800mm : 144sec
검사 감도 0.3µm(표준입자 산포기판)
공간분해능 30µm□
표리 분리 성능 20µm(t=1.1mm)
16µm(t=0.7mm)
리뷰기능 표준장비

옵션

HS-830은 단종. 유지 보수는 CS부서로 문의해 주십시오.

FPD 용 이물 검사장비 HS-830에 관한 문의는 이 양식을 이용하여 주십시오.


ガラス基板用異物検査装置 HS-830
검사
FPD 용 이물 검사장비 HS-930
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색 얼룩(색상 불균일) 검사 장비 MC Series
문의
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