FPD 용 이물 검사장비 HS-930

개요

당사만의 독자적인 광학기술을 채용하여 검사 속도 약30% Up(당사HS-830비교)을 실현
얇은 기판에 표리 판정 능력을 대폭 향상시켰습니다.

특징

Specifications

형식 HS-930
검출 방식 레이저 산란 결상 방식
검출 감도 표준감도 1.0μm / 고감도 0.3μm(표준입자 살포기판)
공간분해능 30μm □
검사 시간 기판 사이즈 표준감도(1.0μm) 모드 고감도(0.3μm) 모드
730 × 920 mm 43 sec 53 sec
1500 × 1850 mm 114 sec 141 sec
2200 × 2500 mm 195 sec 241 sec
2940 × 3370 mm 333 sec 410 sec
표리 판정 능력 1:70 이상 (t=0.3mm)

옵션

HS-830은 단종. 유지 보수는 CS부서로 문의해 주십시오.
FPD 용 이물 검사장비 HS-930
검사
FPD 용 이물 검사장비 HS-930
FPD 용 이물 검사장비 HS-830
색 얼룩(색상 불균일) 검사 장비 MC Series
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