프록시미티(proximity) 노광장비TE2500/TE2535 (Roll to Roll)

특징

仕様

사양

  TE2500 TE2535
노광방식 Proximity Exposure
노광 에리어 260W × 280L [mm] 260W × 350L [mm]
조사방식 Parabolic Mirror
광원 5kw Super-High Pressure Mercury Lamp(Air Cooling)
조사 파장 300~520nm
조도 55 mW/cm2 40 mW/cm2
조도 균일성 Within ±5%
콜리메이션(collimation )앵글 Under 1.5°
데클러네이션(declination)앵글 Under 1.0°
해상도 L/S=10/10µm
얼라이먼트 방식 Automatic Alignment with Image Processing
얼라이먼트 정밀도 ±5µm
필름 반송 정밀도 ±0.1mm
사이클 타임 6sec./cycle (Excluding Exposure Time)
장치 외형 Approx. 4260W × 210D × 2050H [mm]
장치 중량 Approx.4,200 [kg]
유틸리티
전기 3-phase, AC200V, 10kVA
압공 0.4MPa, 50NL/min
열 배기 13m3/min.

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