프록시미티(proximity)&진공밀착 겸용 노광 장비 TE2538 (Roll to Roll)

특징

사양

노광 방식 Proximity & Hard-contact Exposure
노광 에리어 260W × 380L [mm]
조사방식 Parabolic Mirror
광원 5 kW Super-High Pressure Mercury Lamp (Air Cooling)
조사파장 300 ~ 520 nm
조도 40 mW/cm2
조도 균일성 Within ±5%
콜리메이션(collimation )앵글 Under 1.5°
데클러네이션(declination)앵글 Under 1.0°
해상도 L/S = 10/10 µm
얼라이먼트 방식 Automatic Alignment with Image Processing
얼라이먼트 정밀도 ±5 µm(Proximity)/±15 µm(Hard-contact)
필름 반송 정밀도 ±0.1 mm
사이클 타임 Proximity mode : 6 sec./cycle (Excluding Exposure Time)
Hard-contact mode : 15 sec./cycle (Excluding Exposure Time)
장비 외형 Approx. 4260W × 2100D × 2050H [mm]
장비 중량 Approx. 4,200 [kg]
유틸리티
전기 3-phase, AC200V, 10kVA
압공 0.4MPa, 50NL/min
열 배기 13m3/min

주변기기

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