진공밀착 노광장비 TE25A4

특징

사양

노광방식 Hard-contact Exposure
노광 에리어 200W × 200L [mm]
조사방식 Parabolic Mirror
광원 2kw Super-High Pressure Mercury Lamp(Air Cooling)
조사 파장 300~470nm
조도 20mW/cm2
조도 균일성 Within ±5%
콜리메이션(collimation )앵글 Under 1.0°
데클러네이션(declination)앵글 Under 1.0°
해상도 L/S=10/10µm
얼라이먼트 방식 Automatic Alignment with Image Processing
얼라이먼트 정밀도 ±5µm
장비 중량 Approx. 800 [kg]
유틸리티
전기 3-phase,AC200V,8.5kVA
압공 0.4MPa,40NL/min.
열 배기 8m3/min.

외관도

외관도

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진공밀착 노광장비 TE25A
FPC・TAB・COF라인
프록시미티(proximity) 노광장비TE2500/TE2535 (Roll to Roll)
PSR용 고조도 노광장비 TE2500H/TE2535H (Roll to Roll)
프록시미티(proximity)&진공밀착 겸용 노광 장비 TE2538 (Roll to Roll)
진공밀착 노광장비 TE25A4
롤 코터 라인 TRC105/160 (Roll to Roll)
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