웨이퍼 외관 검사장비 INSPECTRA시리즈

업계 최고속! *1
반도체 제조의 전 공정에서 후 공정까지 『하이 스피드』『하이 스펙』으로 웨이퍼 전수 자동 외관 검사 요구에 부응합니다!

개요

INSPECTRA 시리즈는 고속 고감도 전수검사를 실현하가능한 Wafer외관 검사 장치입니다.
당사독자의(양품학습알고리즘 DSI비교법)에 따른 프로세스의 변동용인을 커버해서 Tarket하는 결함만 검출이 가능합니다.

라인업

호평을 받은 EX-Ⅱ시리즈에서 한 단계 더 발전한 SR시리즈, 높은 코스트 퍼포먼스의 TR시리즈, 다이싱링 전용기인 FR시리즈 등, 폭 넓은 라인업으로 고객의 다양한 요청 사항을 실현 가능하게 하였습니다.

웨이퍼 외관 검사장비
INSPECTRA시리즈
라인업
장비의 특징 웨이퍼
사이즈
SR
시리즈
7000SR200 크린도가 요구되는 웨이퍼 전 공정 (엣징/리소/CMP/CVD 등)용으로 Class 1에 대응한 전용기.
전수검사로 프로세스를 모니터링함으로써 조기에 불량 장비를 찾아내는 것이 가능해져, 공정 개선에도 공헌.
2~8 inch
7000SR300 8~12 inch
3000SR200 종래 대비 4배*2 로 진화한 EX-Ⅱ시리즈의 후속 기종.
불량 유출 방지를 위한 요구감도와 전수검사를 양립.
7000SR과 함께 각종 LSI, CIS, MEMS 등의 고감도 검사에 최적.
2~8 inch
3000SR300 8~12 inch
TR
시리즈
3000TR200 풍부한 기능을 탑재하면서 높은 코스트 퍼포먼스를 제공하는 범용기.
종래의 Si뿐 만 아니라, SiC와 GaN, GaAS 등, 주목 받고 있는 화합물 반도체와 LED 등에도 최적.
2~8 inch
3000TR300 8~12 inch
FR
시리즈
3000FR200 다이싱 후, 익스펜디드 후의 다이싱링, 그립링 부착 웨이퍼 검사에 최적. 다이싱링
사이즈
~300mm
3000FR300 다이싱링
사이즈
450mm
편리한 표준기능 감도 시뮬레이션, PAD검사, 결함 컬러 화상 저장, 배드 마크 인식, 칩 회전 ・위치 어긋남 보정 (FR시리즈), 외
풍부한 옵션 미분 간섭 광학계, 논 패턴 검사, 자동결함 분류, 전화상 저장, 결과해석 기능, 웨이퍼 소터, 웨이퍼 크리너, 잉커, 각종 웨이퍼 반송 대응, 각종 통신 대응, 외
실적 예 각종 LSI, CIS, MEMS, LED 펌프・TSV・Via검사, 파워반도체, SiC・GaN, 화합물 반도체, GaAs, OQA・OQC, 외

*1 당사 조사
*2 당사 대비

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