주변 노광 장비

개요

TFT 액정 패널의 제조공정에서 주변부의 불필요한 레지스트를 제거하기 위한 노광을 행하는 장비입니다.
도레이 엔지니어링에서는, 주변 노광과 타이틀러 이 두가지 기능을 가진 「주변 노광 장비 부착 타이틀러」도 갖추고 있습니다.

특징

사양

대상 기판 사이즈/th> 300×400~1200×1300mm
유리 기판 두께 0.5 mm~1.1 mm
택 타임 60 sec
주변 노광 폭 ~100 mm
광원램프 250, 750, 1400, 2000W (노광 폭과 레지스트 감도에 따라 선택)
치수(W×D×H) 2700×1750×2600mm(제4세대 기판용 장비의 경우)
중량 3,000Kg (제4세대 기판용 장비의 경우)

주변 노광 장비 에 관한 문의는 이 양식을 이용하여 주십시오.


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타이틀러
노광 마킹 방식 타이틀러 — TMT 시리즈
노광 마킹 방식 타이틀러 — TRT-iW/THT 시리즈
노광 마킹 방식 타이틀러 TNT 시리즈
웨이퍼 전용 타이틀러 TWT시리즈
IGM방식 타이틀러 TGT시리즈
주변 노광 장비
문의
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