웨이퍼 전용 타이틀러 TWT시리즈

개요

웨이퍼에 대한 ID 마킹 전용 시리즈입니다. 콤팩트한 에리어에 대한 마킹을 실현합니다.

특징

사양

웨이퍼 사이즈 최대 φ300mm
Tact 타임 120sec (노광 700포인트/웨이퍼)
치수(W×D×H) 1750×2600×2600mm(로드 포트, FFU포함)
중량 2,000 Kg

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