검사

제품 일람

웨이퍼 외관 검사장비 INSPECTRA시리

웨이퍼 외관 검사장비 INSPECTRA시리즈

반도체 제조의 전 공정에서부터 후 공정까지 『하이 스피드』『하이 스펙』으로 웨이퍼 전수 자동 외관검사 요구에 대응합니다.


칩 외관 검사장비  GEN3000T

칩 외관 검사장비 GEN3000T

인스펙트라의 알고리즘을 답습하여 칩 주변에서의 검사를 가능하게 만들었습니다.


표면형상 측정장비 SP시리즈

표면형상 측정장비 SP시리즈

광 간섭방법을 이용하여 비접촉 비파괴로 반도체, 필름, 광학부품 등의 3 차원 미세형상을 나노미터 오더의 고정밀도로 측정 가능하며, 투명막도 측정할 수 있습니다.


유기 외관 검사장비 TB시리즈

유기 외관 검사장비 TB시리즈신제품

종래에 검사가 어려웠던 LED 제조공정에서 발생하는 유기잔사와 유저Via의 수지 잔사, 납땜 범프 상의 프렉스 잔사 등, 유기재료를 대상으로 한 새로운 외관검사시스템을 제안합니다.
미세가공항목에서 자세히 소개하고 있습니다.


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