2025-7-3

高加速SEMのシースルーBSE画像のための高度なパターン輪郭抽出機能

• Event: NGLワークショップ2025
• 大家政洋, 岡本陽介, 中澤伸一, 丸山浩太郎, 山崎裕一郎, 村上慎治, 御堂義 博, 三浦典之
  
  NGLワークショップ2025, P18, Jul. 2025. (東京)

Key words: High voltage, EBI, SEM, D2DB, CD, EPE, Overlay, CVNet